1.磁控溅射是一种等离子涂层工艺,通过离子轰击靶表面,溅射材料被喷射出来。PVD 镀膜机的真空室充满惰性气体,如氩气。
2.磁控溅射镀膜设备(间歇式)包含以下关键部件:
磁控溅射阴极:圆柱型或平面型;
电源:脉冲直流、中频、射频
离子源:一般用于塑料/玻璃/陶瓷/金属部件的辉光放电、等离子清洗。
偏压电源:仅适用于导电工件:钢、铁、钢合金、扎马克、铝合金、黄铜等。
真空泵套件:旋片泵、旋转活塞泵、罗茨泵、扩散泵/涡轮分子泵、保温泵等。
其他产品闸阀/真空计、MFC、真空配件和真空管路、进料管路、
3.RTSP 系列镀膜设备用于生产导电、非导电功能性镀膜和美观用途镀膜。
A.应用领域:触摸屏、显示器玻璃上的 ITO 涂层;建筑玻璃;汽车工业:汽车轮毂和轮辋、汽车后视镜、前大灯、尾灯、塑料内饰和外饰;餐具和厨具、珠宝、运动和玩具、水电镀替代品。
B.涂层材料:
金属:Ti(钛)、Cr 铬)、Zr(锆)、Cu(铜)、Al(铝)、Ni(镍)、
SUS316(不锈钢)...
金属合金Ti-Al 合金、Ni-Ca 合金(镍-镉)、ITO(氧化铟锡)
C.溅射方法直流/射频/射频
D.特点:低温沉积
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