中频/直流磁控溅射沉积设备,扁平餐具上的 PVD 溅射,不锈钢电子元件
摘要:PVD 电弧蒸发与 MF 溅射技术完美结合,可在产品表面生成高质量的功能性和美观性涂层。
为什么采用中频溅射?
与直流和射频溅射相比,中频溅射已成为大规模生产涂层的主要薄膜溅射技术,特别是用于光学涂层、太阳能电池板、多层、复合材料薄膜等表面的电介质和非导电薄膜涂层的薄膜沉积。
它正在取代射频溅射,因为射频溅射的工作频率是千赫而不是兆赫,沉积速度更快,而且还能避免像直流电那样在复合薄膜沉积过程中出现靶中毒现象。
中频溅射靶材总是有两组。使用两个阴极,交流电在两个阴极之间来回切换,每次反向切换都会清洁靶材表面,以减少电介质上的电荷积聚,而电介质上的电荷积聚会导致电弧,电弧会将液滴喷入等离子体中,阻碍薄膜的均匀生长--这就是我们所说的靶材中毒。
使用中频溅射系统,我们可以获得石墨颜色,LAB 数据为:(L: 30~35)。A:-0.04, B:08
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