PVD镀膜机 RTSP1213-DC

PECVD磁控溅射离子束辅助

眼镜架 PECVD 薄膜镀膜机 , 眼镜架用 SiC 真空镀金机 FCV 是眼镜框的简称，是下一代绿色汽车的最新技术。它可以通过氧和氢之间的电化学反应持续产生电能。它不同于干电池和充电电池等需要反复充电的一次电池。 其核心技术是如何利用燃料电池动力模块，通过氢气作为燃料与氧气之间的电化学反应产生电能。 氢燃料电池作为动力模块中最关键的部分，来自交通组织和全球汽车制造商的科学家、工程师、教授进行了成千上万次试验，最终找到了合适的处理方法。 它是 100% 环保的技术和交通工具。 我们的 RTSP1213-DC 型设备就是专门为这一应用而设计和开发的。我们与上海交通大学和上海汽车集团股份有限公司合作。 氢燃料电池功率模块溅射系统采用 PECVD（等离子体增强化学气相沉积）技术沉积高均匀性、强附着力的碳化硅薄膜。 氢燃料电池溅射设备包含离子源、平衡/不平衡溅射阴极，以及稳定的大容量真空抽气系统。