陶瓷辐射基板库珀磁控溅射镀膜设备/陶瓷芯片直接镀铜溅射设备
陶瓷辐射基片上的库珀磁控溅射镀膜设备
DPC 工艺--直接镀铜是一种先进的镀膜技术,应用于 LED、半导体和电子行业。其中一个典型应用是陶瓷辐射基板。
与传统制造方法相比,DPC 工艺采用 PVD 真空溅射技术在 Al2O3、AlN、Si、玻璃基板上沉积库珀导电膜: DBC LTCC HTCC 的特点:
1.生产成本更低。
2.出色的热管理和传热性能
3.精确的排列和图案设计
4.电路密度高
5.良好的附着性和可焊性
皇家技术团队协助客户利用 PVD 溅射技术成功开发了 DPC 工艺。
由于其先进的性能,DPC 基板被广泛应用于各种领域:
高亮度 LED 因其高热辐射性能而延长了使用寿命;半导体设备、微波无线通信、...电子、各种传感器基板、航空航天、轨道交通、电力等。
RTAC1215-SP 设备专为在基板上获得铜箔层的 DPC 工艺而设计。该设备采用 PVD 物理气相沉积原理,配合多弧离子镀和磁控溅射技术,在高真空环境下获得高密度、高耐磨性、高硬度和强结合力的理想薄膜。这是 DPC 工艺其他部分的关键步骤。
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