威斯曼 EMC 系列高压电源是用于聚焦离子束的综合性多输出高压电源。典型应用包括透射和扫描电子显微镜、半导体分析、光盘驱动头的铣削和修复、离子束蚀刻和聚焦离子束光刻。采用模块化设计方法,可在大型机箱上的通用机架安装组件中轻松配置单个组件。接口、逻辑和控制电路采用表面贴装技术制造,以最大限度地降低成本和减小尺寸。集成加速电源、灯丝电源、吸收器电源、抑制器电源和透镜电源。输出纹波低,具有出色的调谐比、稳定性、温度漂移和精度。威斯曼独特的高压悬浮和数字控制技术。EMC 系列高精度模块价格极具竞争力,是 OEM 应用的理想之选。
应用: EMC
场发射扫描电子显微镜
电子束电源
半导体分析、处理和维修
离子束蚀刻
聚焦离子束光刻
技术参数: 加速电源
加速电源
输出电流
100μA, 300μA
纹波
100μA:75 mV P-P,从 0.1 HZ 到 1MHZ
300μA:120 mV P-P,从 0.1 Hz 到 1MHZ
输入调整率: 输入调整率
100mV 输入变化 +/-10
负载调整率
± 0.01%,最大电压,满载变化
稳定性
1.预热 2 小时后,5V/10 小时
温度系数
25 PPM / °C
灯丝电源:
纹波
负载调整率:
± 0.1 %,最大电压,满负荷变化
线路调整率:
+/-10% 变化,至 5mA
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