威斯曼的 ECD 系列软件驱动静电吸盘电源具有多种功能,可满足各种苛刻的应用要求。该仪器采用威斯曼放大器技术,效率和产量比其他电源提高三倍之多。减少背面气体误差、提高产量并消除晶片粘连/爆裂问题;控制过流、晶片存在和晶片夹钳阈值、夹钳电压、偏移电压以及内部或外部振幅/偏移控制等参数;在调整过程中实现多功能振幅/偏移和输出控制;使用后面板 I/O、串行计算机命令或前面板控制来控制输出;配置自定义夹钳和去夹钳序列及波形。威斯曼 ECD 功能多样,性能可靠,可用于各种独特的工具和工艺,而无需为设备中的每种独特工具或工艺增加新的成本。
特点
可锁定的前面板控制界面。
每台设备都配有可溯源的校准证书。
支持库仑和约翰森-拉贝克电调技术。
静电吸盘曲线可通过用户友好的软件界面上传到设备并存储在内部。
晶圆检测,包括无晶圆、有晶圆或晶圆夹持状态。
应用领域:
静电驱动材料处理。
半导体晶片处理。
对机械处理敏感的平板或其他加工材料的非机械传送。
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