DC/DC电源 EC

ISO

应用： 静电驱动材料处理、半导体晶片加工、平板或其他对机械处理敏感的加工材料的非机械传送 威斯曼的 EC 系列软件驱动静电吸盘电源具有多种功能，可满足各种苛刻的应用要求。该仪器采用了威斯曼放大器技术，该技术已被证明可将效率和吞吐量提高至其他电源的三倍。减少背面气体误差、提高产量并消除晶片粘连/爆裂问题；控制参数，如过流、晶片存在和晶片夹钳阈值、夹钳电压、偏移电压以及内部或外部振幅/偏移控制；在调整过程中实现振幅/偏移和输出控制的多功能性；使用后面板 I/O、串行计算机命令或前面板控制来控制输出；配置自定义夹钳和夹钳移除序列和波形。威斯曼 EC 性能多样，值得信赖，可用于多种独特的工具和工艺，无需为设备中的每种独特工具或工艺增加新的成本。 产品特点 可锁定的前面板控制界面； 每台设备都配有可溯源的校准证书； 支持库仑和约翰森-拉贝克电调技术； 本节介绍如何使用用户友好的软件界面将静电吸盘的配置文件上传到设备并存储在设备中； 晶圆检测包括无晶圆、有晶圆或晶圆夹紧状态； 功能： 输入：DC24V, 2A； 输出： 输出相位 电压显示： 比率：1V/ 200 V