电压放大器 ECA

开关高电压双极

ECA 系列是用于静电卡盘（E-Chuck、ESC）的高压放大器。除极性切换和强制接地外，该系列还提供晶片监测系统，以满足晶片检测需求。此外，该系列具有宽电压范围，支持库仑和约翰森-拉贝克静电卡盘。 典型应用： 静电驱动材料处理 半导体晶片加工 对机械处理敏感的平板或其他加工材料的非机械传送 特点和优点 通过晶片传感器进行可靠的夹紧/松开状态检测 放大器结构设计响应速度快（"无继电器极性反转 "设计，可靠性高，使用寿命长。） "双通道独立控制（选件）"和 "中心抽头电压设置（选件）"，适用于各种夹持/释放操作 配备 LAN、USB、RS-232C 数字接口 内置低通 RF 滤波器（13.56 MHz） 可选 CT 中心抽头偏置 0 至 ±[最大速率电压 - 电压设置点］ 可选 ET 以太网 CAT 接口 [即将推出］ 可选 DS 双通道独立控制 可选 AC 可选 L7 输出高压电缆 7m x 3 (选择 CT 或 DS 时为 2）