单轴加速度计 ER-MA-6

MEMS微型超小型

MEMS（微机电系统）加速度计是利用 MEMS 技术制造的加速度计。由于采用了微机电系统技术，其体积大大缩小，MEMS 加速计只有指甲盖大小的几分之一。MEMS 加速计具有体积小、重量轻、能耗低等优点。 ER-MA-6 是一种惯性传感器，可以测量由重力引起的线性加速度。该产品是一款量程大、超高精度、高可靠性和低功耗的 MEMS 加速计。 特点 大量程、超高精度、高可靠性和低功耗 二级非线性：<10µg/g2 偏差稳定性（1s 平滑）（1σ）：<15ug 偏差稳定性（10 秒平稳）：<5ug 偏倚不稳定性（阿伦曲线）：<2ug 应用 惯性测量：惯性制导、过载测量、综合导航 倾斜测量：天线姿态、平台测量、倾斜角测试 振动测量：机械设备、桥梁和大坝、安全测试 规格 封装 - CLCC48 轴 - Y 量程 - 60 - g 因数刻度非线性 - 150 - 赫兹 群延迟 - <3 - 毫秒 二级非线性度 - <10 - µg/g2 噪声 - <30 - µg/√Hz @1hz 阈值 - <30 - µg 工厂偏差（室温） - <±1 - 毫克（室温校准值） 工厂偏置温度漂移 - <±0.5 - mg 工厂偏置温度滞后 - <0.2 - mg