电容压力开关 730

隔膜绝对用于气体

Setra 730 型是一款高精度电容压力计（也称为电容隔膜仪（CDG）），用于测量对光伏、半导体和工业市场过程控制至关重要的低真空压力范围。其 0.5% 的读数准确度和精确分辨率使 730 成为竞争对手的首选。730 采用了所有 Inconel® 润湿材料，使其能够与半导体工艺中的腐蚀性介质一起使用。730 的直接测量设计可提供精确的介质测量，无论应用中气体混合物的组成如何。适用 于苛刻应用的高性能-730 型电容压力计采用单个隔膜可变电容检测元件，用于要求苛刻的半导体和工业真空应用。其读取准确度、高分辨率和宽动态范围的百分比使得 730 成为适合关键制造工艺的理念。 与 Inconel® 设计的多功能兼容性-730 采用 Inconel® 设计，适用于所有润湿部件。Inconel® 对半导体和工业真空过程中使用的腐蚀性介质具有高抗性。其材料以及所有焊接结构，确保了应用中的长寿命。 直接压力测量-730 型号采用隔膜设计，可直接测量使用点的压力变化。与业内其他电容压力计不同，730 测量直接压力；它与测量的气体混合物无关。这使得 730 具有比只能测量间接压力的压力计更高的精度。