绝对压力传感器 225

隔膜模拟直流

Setra的225型非常适用于高纯度气体输送系统的半导体工艺，以及需要超洁净操作、高产量性能和特殊长期稳定性的控制应用。 GCT-225型设计为0.11 in3的低腔体，几乎消除了颗粒的夹带，可以很容易地进行清洗。所有润湿部件都是316L VIM/VAR不锈钢钝化到5 Ra（最大7 Ra）的表面处理，这消除了表面的不规则性，并提供了适当的表面化学成分以抗腐蚀，保证了无污染物的气体分布。每个传感器都经过质谱仪的氦气泄漏测试，达到1 x 10-9 ATMCC/sec。 225型系列配备了一个可旋转的盖子，便于使用12圈电位器进行零点和量程调整。标准的旋转式外螺纹或内螺纹面密封压力接头符合半导体行业的要求。此外，还有其他几种接头样式可供选择。 225型提供5 VDC、10 VDC或4-20mA输出。 提供六英尺的多芯电缆或Bayonet连接器用于电气终端。Setra专利的可变电容传感器有一个VIM/VAR 316L不锈钢膜片和一个绝缘的电极板。在传感器主体和电极板之间形成一个可变电容。压力的增加会导致膜片的轻微变圆，从而降低电容值。 电容的变化被检测到并转换为高度精确的线性直流电信号。Setra独特的定制集成电路，利用专利的电荷平衡原理，几乎对EMI/RFI免疫。 应用 - 气柜 - 高纯度气体输送系统