LDP150是专门用于接合大型光或辐射探测器(50~150毫米)的电动按压机。它采用的是室温条件下的按压工艺(可使用热压)。使用诸如SET FC150/FC300之类的高精度器件接合机,可以在预先接合的两个元件之间实现预定义的间隙。
LDP150能够施加高达100,000牛顿的压力。器件在室温条件下被按压,并且能够保持初始的高精度对准以及平行度。
• 通过在空气轴承上移动的自调平球以及真空锁定,保持了元件堆叠的初始平行度
• 强力(高达100,000牛顿)以及受控力分布确保了接合质量
• 花岗岩基座和强韧的钢结构确保了组装的初始高精度
• 接合工艺
• 室温按压
• 热压(可选)
• 通过按压元件以及对力分布进行精确控制来实现接合
• 优先考虑力或是间隙变化
• 可以在接合过程中对平行度和间隙随时进行监测
在室温下将器件按压到一起,同时保持初始的高精度对准及平行度。