步进器电动机控制 NPS300

最佳的微米/纳米复制。 NPS300纳米印刻步进机针对纳米结构的制备而进行了优化，它是第一个将对准后的热压印以及紫外纳米压印光刻综合在同一平台上的工具。NPS300能够以250纳米的堆叠精度来印制20纳米以下的几何图形。 NPS300展示了已经过实践证明的尖端技术解决方案，可满足研发和生产的经济要求。 其灵活的架构提供了出色的加工重复性和独特的大面积成图能力，它可以采用连续步骤和重复模式对最高达300毫米的晶圆进行处理。 NPS300既可以手动装载，也可以用作具有晶圆加载功能的全自动系统。 • 配备了纳米压印光刻工具，它综合了热压印以及紫外纳米压印光刻，在步进和重复模式下，可对最高达300毫米的晶圆进行处理 • 20纳米以下的印刷分辨率以及250纳米的堆叠精度，应用范围非常广：图案化媒体存储、光学、生物等…… • 可以添加惰性气体来提高印制速度 • 精度高、液体配料少 • 自动印模拾取，具有较高灵活性，并且印模尺寸从50/65毫米可扩展到100毫米 • 手动或自动化晶圆装载/卸载 • 空气轴承技术以及花岗岩结构确保了长期的稳定性和可靠