DF-750 ULTRA是一种痕量/超痕量分析仪,经过优化,可对300毫米半导体工厂中使用的超高纯(UHP)气体进行行业高效的水分测量。
DF-750 ULTRA专为在各种UHP气体中进行痕量和超痕量水分测量而设计,针对300mm半导体工厂进行了优化。它测量作为电子级气体氮气,氢气,氦气,氩气和氧气中污染物的水分。
可调谐二极管激光(TDL)传感技术可提供低至55 ppb(ppt)的检测下限(LDL),从而确保DF-750 ULTRA稳定,高精度的测量满足半导体生产的精确监控需求。
坚固的DF-750 ULTRA对使用寿命的维护要求低,并且具有零漂移稳定性,从而大大延长了校准间隔。这种低拥有成本与优异的测量性能相结合,意味着DF-750 ULTRA是用于UHP气体质量检查的优质分析解决方案。
高稳定性TDL迹线/超迹线测量
UHP电子气体的超痕量鉴定对于半导体制造至关重要。您需要水分分析仪
可以提供高稳定性的测量结果,并具有灵敏且一致的性能。准确而低的LDL是必需的,容易存储和调用数据/校准记录也是如此。无论您有什么要求,您都需要一种能够提高运行效率的水分分析仪。我们不相信你应该
必须妥协。
绝不妥协的解决方案
DF-750 ULTRA旨在满足全球半导体制造商所要求的优质的气体纯度标准。 DF-750 ULTRA利用先进的TDL传感技术,该技术安装在坚固且有弹性的Herriot Cell中,可避免水分与光学传感组件接触。结果是分析仪提供了超灵敏的,低至55ppt检测下限,非常适合在各种UHP电子等级中检查微量水分
气体,包括N2,H2,He,Ar和O2。 DF-750 ULTRA拥有记录的数据,并可以通过灵活的存储和调用功能随时获得,是300mm半导体工厂中UHP气体监测的完整解决方案。
维护简单,降低了运营成本
UHP电子气体的超痕量鉴定对于半导体制造至关重要。您需要水分分析仪
可以提供高稳定性的测量结果,并具有灵敏且一致的性能。准确而低的LDL是必需的,容易存储和调用数据/校准记录也是如此。无论您有什么要求,您都需要一种能够提高运行效率的水分分析仪。我们不相信你应该
必须妥协。