NanoChrome采用了先进的气体检测技术和信号处理方法,彻底革新了半导体行业中超微量级气体的纯度测量。
NanoChrome是专为半导体制造行业而设计的一款高性能分析仪,可以在一系列常见背景气体(包括Ar、H2、氦气(He)、N2和氧气(O2)等)中对氩气(Ar)、甲烷(CH4)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、氢气(H2)、氮气(N2)和非甲烷烃类(NMHC)等气体进行高可靠性的监测。
NanoChrome使用了升级的大显示器和全新软件技术,以及仕富梅先进的等离子放射检测仪(PED)传感器和灵敏的ProPeak软件。
低成本,高性能
相较于传统火焰离子化检测仪(FID)和还原气体检测(RGD)传感技术,NanoChrome使用的传感技术在性能、稳定性、安全性和低后续成本等方面都具有显著的优势。
仕富梅先进的信号恢复技术采用了获得专利的ProPeak过滤算法,可以提供高灵敏度和选择性的气体测量。NanoChrome无需使用甲烷化装置和易燃燃气,具有很高的成本优势。
超高压气体监测应用的权威解决方案
监控半导体晶圆制造中使用的UHP气体时,高灵敏度和性能至关重要。
合适的分析解决方案必须提供监控的灵活性
普通背景气体中所有必需的气体-并且在超痕量水平下具有完全的选择性和准确性。无论您的应用程序需要什么,您都需要一种可以降低持续成本并帮助您提高业务效率的解决方案。我们认为您不必妥协。
绝不妥协的解决方案
NanoChrome是改变游戏规则的分析仪,可提供目前高水平的性能准确性和选择性。使用先进的专利PED感应技术,
与同类分析技术相比,该设备具有明显的优势。它不仅高度适用于各种气流中测量的气体,还消除了对易燃气体的需求-使NanoChrome可以提供增强的安全性解决方案。当需要完整的独立解决方案时,可以将NanoChrome与DF-500(超痕量ppt O2)和DF-700(超痕量水分)分析仪系列结合使用。
维护简单,降低了运行成本
通过将Servomex专门开发的非消耗型PED技术与先进的处理和操作软件相结合,NanoChrome可以延长校准期限,从而在产品使用寿命内大大降低了持续的成本。加法
智能信号处理功能可确保该设备提供更高的准确性,更大程度地延长过程正常运行时间。全面的数字通信协议以及通过网络或Internet浏览器的访问有助于灵活的远程设备交互,而智能软件包提供了生成全面报告和统计分析的能力。这使NanoChrome成为可与所有其他UHP气体监测分析仪进行比较的分析仪。