DF-750是针对300mm半导体制造中超高纯 (UHP) 气体测量而优化的一款微量级/超微量级水分分析仪。
DF-750是针对300mm半导体制造过程而优化的一款分析仪,可以对一系列UHP气体进行微量级和超微量级水分测量。该款分析仪可以对电子工业级气体(包括氮气、氢气、氦气、氩气和氧气等)中的水分污染物进行测量。
可调谐激光二极管 (TDL) 传感技术可以提供低至万亿分之100 (ppt) 的低检测限(LDL),从而确保DF-750高度稳定和准确的测量结果满足半导体生产的精密监测需求。
坚固耐用的DF-750具有所需维护少和零漂移稳定性等特点,可大大延长标定间隔。低持有成本和非凡的测量性能使得DF-750成为UHP气体质量检验应用的优质分析解决方案。
高稳定性TDL迹线/超迹线测量
UHP电子气体的超痕量鉴定对于半导体制造至关重要。您需要水分分析仪
可以提供高稳定性的测量结果,并具有灵敏且一致的性能。准确而低的LDL是必需的,容易存储和调用数据/校准记录也是如此。无论您有什么要求,您都需要一种能够提高运行效率的水分分析仪。我们不相信你应该妥协。
绝不妥协的解决方案
DF-750旨在满足全球半导体制造商所要求的出色的气体纯度标准。 DF-750利用先进的TDL传感技术,该技术安装在坚固耐用且具有弹性的Herriot Cell中,可避免水分与光学传感组件接触。结果是分析仪提供了超灵敏的,业界先进的100ppt下检测限,非常适合在各种UHP电子等级中检查微量水分气体,包括N 2 ,H 2 ,He,Ar和O 2 。 DF-750具有记录的数据,并可以通过灵活的存储和调用功能方便地获得数据,是300mm半导体工厂中UHP气体监测的完整解决方案。
维护简单,降低了运营成本
UHP电子气体的超痕量鉴定对于半导体制造至关重要。您需要水分分析仪可以提供高稳定性的测量结果,并具有灵敏且一致的性能。准确而低的LDL是必需的,容易存储和调用数据/校准记录也是如此。无论您有什么要求,您都需要一种能够提高运行效率的水分分析仪。我们不相信你应该妥协。