依赖CMOSens® 技术的数字校准和温度补偿传感器信号,直接转换成用于控制阀的模拟控制电路信号。
基于这一原理,质量流量控制器不易受电磁干扰的影响。SFC4000提供一个模拟接口(0 - 5 V),并可提供稳定、精确的气体流量控制。所需的电源是单级14至24 VDC。
规范
质量流量
准确度 - 0.2%FS or 2% SP - -
校准 - Air, O2, N2, Ar and CO2 - flow -
流体连接器端口 - Swagelock, VCO, VCR, Downmount - -
Generic
电源电压 - 14 - 26.4 - V -
平均供应电流 - 50000 - uA -
最大供应电流 - 320000 - uA -
接口 - 模拟电压输出 - -
尺寸 (长x宽x高) - 105 x 38.5 x 90.5 - mm³