质量流量调节器 SFC3000

用于气体数码用于OEM

质量流量控制器SFC3000可在很宽范围提供气体流量快速准确的控制。其高精度和快速稳定时间主要依赖创新的CMOSens®技术。经校准和温度补偿的数字传感器信号，直接转换成一个用于控制阀门的数字信号。 SFC3000是一个针对大批量OEM应用的小型、数字质量流量控制器。其优异的稳定性和可重复性使其成为了分析仪器的理想选择。不同气体类型和控制范围可通过软件进行校准与切换。 规范 质量流量 准确度 - ±0.2sccm ± 2% SP - - 校准 - Air, He, H2 and Ar - flow - 流体连接器端口 - 下置式安装 - - Generic 电源电压 - 14.25 - 15.25 - V - 最大供应电流 - 330000 - uA - 接口 - RS485 - - 尺寸 (长x宽x高) - 70 x 25 x 73 - mm³