质量流量传感器 SFM5330

密度空气OEM

质量流量 满量程流速 - 1, 2 and 5 - slm - 满量程流速 - 50, 100, 200 and 500 - sccm - 准确度 - 0.2%FS or 2% SP - - 最大工作压力 - 10 - bar - 校准 - Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 - flow - 流体连接器端口 - 下置式安装 - - Generic 电源电压 - 14 - 26.4 - V - 平均供应电流 - 50000 - uA - 最大供应电流 - 320000 - uA - 接口 - RS485 - - 尺寸 (长x宽x高) - 34 x 25 x 62.2 - mm³