SFM5400质量流量计具有卓越的精度(误差<1%)、可重复性和长期稳定性,宽动态测量范围。SFM5400由金属制成,且高度可配置。它采用多种机械连接和电气接口,可测量50 sccm和200 slm之间的流量。传感器信号可在芯片上直接转换成数字、完全校准和温度补偿的信号。多个气体校准可以存储在一个器件中。此外,流量计可以检查激活的气体校准是否与实际存在气体相匹配。SFM5400的通用性使它成为工业和医疗应用的理想解决方案。
SFM5400质量流量计的杰出性能基于创新的CMOSens® 技术,它在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感元件和信号处理电路。结合优质材料,实现了一个持久稳定、快速和高精度的质量流量计。
SFM5400质量流量计是SFC5400质量流量控制器的无阀门版本。SFC5400质量流量控制器与质量流量计具有相同的性能特性,并适用于类似的应用,这两个产品可以完美结合在一起。在SFC5400 网站,你可以找到关于质量流量控制器的进一步信息和详细规格。