光电子式光谱仪 NanoSAM Lab

工艺流程MCPAuger

特高压双子座电子柱： 最高空间分辨率最 小的电子束点尺寸 独特的低能性能高 效 SEM，带镜内 SED NanoSam 电子分析仪： 可变能量分辨率 极佳灵敏度、多通道检测 样品处理： 柔性样品大小 可变样品温度 (50-500K) 样品倾斜 60 NanoSam 实验室是分析小结构的终极工具. 由特高压双子座电子柱的独特性能驱动，在扫描螺旋显微镜 (SAM) 中保证了无与伦比的分辨率低于 5 nm，SEM 中的分辨率高于 3 nm。 与其他 Auger 工具相比，非常好的分辨率不仅在标准 20 keV 光束能量下提供，而且即使在 5 keV 时，SAM 分辨率仍然低于 10 nm。 这样可以在一个参数范围内操作，其中螺旋截面较高，并且有充分的记录可用于定量分析。