离子源 FDG15

规格 能量范围 400 至 5 千伏 (10 千伏可选) 最大光束电流 > 10 μA @ 5 千伏 > 100 纳 @ 15 千伏 (10 千伏可选) 光束直径介于 300 微米至 2′′ @ 5 千伏 整体端口对准器 是 阴极 氧化钇涂层钨 (可选) 铱灯丝 工作距离 30 毫米-300 毫米 插入深度 173 毫米 在工作过程中 5x10-7 毫巴-1x10-8mbar 安装法兰 CF 35/2′ OD 电子接口 TCP/IP 软件控制 实验室™-基于软件 “Proion” FDG 15使用与 FDG 150 相同的经过验证的光束生成，可用作所有应用的替代品，例如，过去已经使用过宽扩展但已不再可用的 ISE 10（Leybol/Kremericron）。 此外，FDG 15 还配备了更灵活的离子光学器件，以适应更长的工作距离和可选的离子通量稳定。