聚焦离子束探针 GCIB 10S

GCIB10S 与 XPS 和其他表面分析系统相结合，旨在实现极致深度剖面性能。 聚类离子束能够对聚合物进行深度剖析分析，从而最大限度地减少因离子束损伤而造成的化学信息损失。 这对于分析现代多层结构（如 OLED、生物医学、敏感涂层设备或其他聚合物表面）至关重要，但也表明在使用 Ar1 进行正常剖面分析时可降解的成熟材料的分析有显著改进。 除了将氩簇离子源与新型 XPS 系统结合使用外，GCIB10S 还可轻松集成到现有的超高压系统中，并配有针对样品的 NW63CF 法兰。 它提供了一种经济的方式来升级 XPS、SIMS 或其他系统，以便使用聚类光束溅射进行样品清洗或深度剖面分析。