砷阀控裂解源

坩埚容量 300 cm ³ 或 500 cm ³ 大阀开口 精确、非常快速的通量控制 高纯度操作条件 易于操作和充填过程 集成水冷却罩 阀砷裂纹源专为高性能增长 III-V 材料。 它高度专业化 As4 或 As2 升华能力，结合了 300 cm ³ 或 500 cm ³ 的大型坩埚容量和精确、快速的通量控制。 集成阀门机构提供压力范围超过 2 个数量级的通量控制。 在压力读数中，典型的开/关比率约为 4 个数量级。 由于阀门开口大，因此可以有效地泵送砷储罐处于开阀位置。 阀单元可以手动操作，也可以使用阀门控制单元操作。 集成式水冷护罩以及电池和阀单元采用所选材料，保证了高纯度的运行条件。 通过集成裂解机单元的运行条件，源的运行模式可以很容易地从 As4 更改为 As2 增长。