离子束蒸发器 Triple EFM

加工

蒸发面积8.5， 11和15 mm 工作距离93 mm (10 mm) 3台独立细胞或细丝涨潮显示器 在复合成长期间的没有干扰 evaporants后方装货 焦点产品 基于EFM 3蒸发器的设计观念，三倍EFM以各种各样的材料的蒸发的三个独立细胞为特色从导线、标尺或者坩埚的。 每个细胞用一条分开的细丝和HV供应装备防止干扰(300 W中的每一)。 三台独立涨潮显示器使能化合物受控化学计量学的成长。 缺一不可的多位置快门使能精确药量和同时或连贯蒸发(‘打开’位置： 1， 2， 3， 1+3， 2+3， 1+2+3)。 证言区域由选择三开口之一治理。 三个蒸发目标在三25 mm独立地登上为对准线Z转移关于细丝。 这个特点允许从标尺的蒸发与多口袋仪器。 目标材料可以从后方(3x NW 16锎)容易地被重新装满。