产品信息
光敏玻璃片
FOTURAN® II是在著名的FOTURAN®基础上改进的光敏玻璃。它是在连续熔化过程中生产的,具有最佳的均匀性。
FOTURAN® II是一种技术玻璃,经过紫外线照射和温度处理后会结晶。结晶区域可以以高长宽比被蚀刻掉,从而形成极其精细的结构和孔道。经过第二次曝光和回火处理,FOTURAN® II可以转化为玻璃陶瓷。
如果需要,结构化的FOTURAN® II基材可以应用于半导体芯片和半导体封装工艺。该工艺流程无需光阻剂即可工作,可使用标准的半导体设备。
优势
优点
- 高均匀性:先进的熔化工艺使光敏度一致且可重复。
- 高长宽比的极细结构尺寸
- 不需要光阻剂就可以进行结构设计
- 优异的传输特性(可见光和非可见光光谱
- 生物技术兼容性:耐高温,化学性质稳定
- 环境友好:符合EU-RoHS和EU-REACH的规定
- 经过验证的业绩:超过30年的成熟材料和关于加工的尖端出版物可供查阅
应用
- 半导体。插件
- 电信:光波导/光互连
- MEMS传感器。基板和功能元件
- 射频应用。插件、基片和功能元件
- 微流控技术。片上实验室、微反应器和打印头
- 微光学。微型光学元件
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