玻璃 MEMpax®

超薄硼硅玻璃 肖特MEMpax®是一种表面经过火抛光的硼硅酸盐玻璃。它的化学和物理特性与著名产品 SCHOTT Borofloat® 33。 同时，MEMpax®的厚度要小得多，而且由于其出色的表面质量，提供的薄片不再需要进行研磨和抛光。肖特MEMpax®可用于需要极薄硼硅玻璃的任何地方。 MEMpax®的线性热膨胀系数与硅的系数相当，这种玻璃完全适合用于阳极粘接。由于MEMpax®的低自体荧光、优良的表面质量、平整度和均匀性，它在微电子机械系统（MEMS）和生物技术中的应用可能性很大。 优点 微电子机械系统(MEMS) - 线性热膨胀系数与硅的系数一致 - 适用于阳极粘接 - 薄的硼硅玻璃片无需抛光 - 高耐热性和耐化学性 生物技术 - 高透光性 - 有各种厚度可供选择 - 低自发荧光 - 卓越的表面质量 技术数据 尺寸：2英寸至12英寸，圆形或矩形 表面粗糙度Ra : < 0.5 nm 厚度* : 0.1毫米至0.5毫米 标准厚度* : 0.2毫米，0.3毫米，0.4毫米，0.5毫米 透光率ΤvD65（厚度=0.5毫米）：92.9%。 平均线性热膨胀系数 α（20℃；300℃）（静态测量）：3.3 - 10-6 K-1 转化温度Tg：532 °C 介电常数εr在1MHz : 4.8 折射率nD（如图） : 1.4714 密度ρ (40 °C/h下退火) : 2.22 g/cm3