熔融二氧化硅光学部件 AF 32® eco

扁平

产品信息 具有高透射率的环保玻璃 AF 32® eco是肖特公司利用自主研发的特殊下拉技术制造的无碱平板玻璃。该技术可制造厚度自0.03 mm至1.1 mm的产品。 该产品表面经过火焰磨光处理，粗糙度系数较低。此外，AF 32® eco的热膨胀系数与硅相同。因此，该产品绝对适合用作半导体行业的光学包装材料。由于其转变温度较高，可应用于600 °C左右的高温环境。 AF 32® eco 有多种可选的晶圆形式，采用环保型精炼剂替代砷和锑进行制造。 优势 • 热膨胀系数与硅相同 • 能承受约600 °C左右的高温 • 高透过率 • 适用于12”晶圆的大型方片尺寸 • 低粗糙度火抛光表面 • 多种厚度 • 厚度严格控制 • 使用金刚石锯便于切块 • 玻璃生产采用环保型澄清剂替代砷和锑 • 无碱合成 技术细节 技术数据 尺寸 : 圆形和方形 定制镜片形式 如 6", 8" or 12" 表面粗糙度 : < 1 nm RMS 厚度 : 0.03 mm - 1.1 mm 光透射比 τvD65(d = 0.5 mm) : 91.9% 平均线性热膨胀系数n α (20 °C; 300 °C) (静态测量) : 3.2 ⋅ 10-6 K-1 转变温度 Tg : 717 °C 1 MHz下介电常数 εr : 5.1 折射率 nD : 1.5099 密度 ρ (40 °C/h下退火) : 2.43 g/cm3