信息
EBC 600 可满足中小型 RX-Labs 的所有要求。 该机器是一个紧凑的系统,可以生产最高质量的产品,而不会影响质量和组件。 EBC 600 具有可靠且经过验证的组件与现代工艺技术相结合的特点。
具有大量口袋的强大 EBG 系统可提供最大的工艺灵活性。 用于氩气和氧气使用的扩大离子源功率以及水冷式工艺室保证了高过程稳定性。 通过使用 Visar 工艺技术,高端涂层可以转移到中小型 RX-Labs 中,无论是在有机镜头还是玻璃镜头上。 模块化设计可升级,以满足更高的生产效率要求。
优点
紧凑型经济真空涂层系统高
端品质涂层
室内氢/油类涂层久经
验证的技术
远程维护
小尺寸
易于使用的界面技
术数据
真空:预真空 65 m3/h
高真空 2200 升/秒 (N2), 包括一个门关系统
电离源:高
达 210 V 和 2 A
2 气体(O2 和 Ar)
EBG:
8 kV /375 毫安/12 个口袋
基材加热器:
(可选)高达 80°C 底部加热器最高可
达 300 °C 顶部加热器
XTAL:
6 MHz 单头
选择:
带冷冻冷却器
翻盖的 Meissner 陷阱
耗电量:
20 千伏安平均值。
机器重量:
约 1250 公斤(2756 磅)
尺寸(宽 x 深 x 高):
约 1575 x 1165 x 2070 毫米(62 x 46 x 82 英寸)
容量全圆顶-取决于镜头直径:
Ø 60/65 毫米 — 60/50 镜头
Ø 70/75 毫米 — 42/38 镜头
Ø 80/85 毫米 — 32/30 镜头
容量翻转-取决于镜头直径:
Ø 60/65 毫米— 24 个镜头
直径 70/75 毫米 — 16 个镜头
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