3轴定位系统

门式用于检测晶片和计量高精度

我们针对要求严苛的平板显示器行业提供的解决方案涵盖从 AOI（自动光学检测仪）到照片间隔测量阵列测试器。在全球范围内共安装了 800 多套系统。部分系统在亚洲直接生产和装配 为了减少总拥有成本，SCHNEEBERGER 创新地使用了花岗岩替代品：矿物铸件。 其高阻尼结构有助于优化总的系统重量，从而减少处理和运输成本。 了解有关矿物铸件的更多内容… “大尺寸格式系统”兴趣点*的典型规格 配置：XYZ 或 + Z（机架） 行程：最大 3500 x 2700mm 准确度：≤ 10 µm（超过 TIR，映射） 可重复性：≤ 2 µm 稳定性：≤ 10 nm（在 1s ptp 内） 移动和稳定：300mm 时 < 500ms Cst 速率：<100mm/s 时 < 0.01% 平直度：超过 3000mm 时 < 20um 平整度：超过 3000mm 时 < 20um