散装装载系统

自动化

由多通道装载机、计量器和电池分流器组成的模块化设计使装载电池生产线能够以最佳方式适应产量、轨道数量和空间要求。对于下面的电池工艺，晶圆要么从一个或两个进料轨道转移到十个轨道上，要么从一个轨道转移到五个轨道上。 为了适应更高的质量控制要求，可以在系统中增加额外的检测选项（孔和裂纹识别、表面测量、寿命和电阻测量）。 工艺开始前的质量控制 最高吞吐量达每小时7600片晶圆 适用于多达十个轨道的工艺系统 在计量系统之前进行破损清除