酸性制绒适用于多晶硅片。在这个过程中,在锯切过程中产生的杂质和损伤被去除。同时,晶圆的表面被扩大了。各向同性的表面纹理减少了反射,从而决定性地影响了电池的效率。
SCHMID的酸性纹理在线系统实现了完美的表面质量。每一个部件都体现了市场领导者40多年的湿法加工经验。频率控制的泵确保了化学品的连续循环,从而在整个工作宽度上对晶片进行均匀的纹理处理。再加上自动计量和水浴监测,机器操作员在任何时候都可以完全控制整个过程。所有的测量值都以数字形式记录下来,并通过SCHMID Watch操作单元显示出来。在出口处有一个可选的反射测量装置,以确认其可重复性。
复杂的输送系统确保了低的晶圆破损率。新一代的刮刀辊进一步大大减少了拖动。此外,多级联动技术将去离子水的消耗降到最低。化学槽上方和槽内产生的蒸汽通过排气系统被有效地抽走。由于在线系统的模块化设计,产量和工艺步骤可以适应客户的需求。
温和的晶圆处理,没有运输损坏
通过自动计量和槽体监测进行过程控制
化学药剂的连续循环,以达到最大的可重复性
低水和化学药剂消耗
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