取放式机器人
蜘蛛5轴用于晶圆操作

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产品规格型号

类型
蜘蛛
轴数量
5轴
功能
用于晶圆操作, 取放式
安装类型
移动式
其他特性
高速

产品介绍

机器人将晶圆(或电池)从进料带转移到出料带的1至5个不同数量的轨道上,反之亦然。 此外,晶圆可以被分拣到盘子里,也可以从盘子里拿出来。单独的传送带将晶圆送入和送出机器,因此不需要为不同尺寸的晶圆进行转换,并保证了温和的传送。 一个集成的摄像系统可以检测晶圆的位置、缺陷和重叠的晶圆。错位的晶圆将被放置到正确的位置,损坏和重叠的晶圆将被移除。 一个特殊的Bernoulli-gripper已经被开发出来,以实现温和和无接触的抓取。 4,000片/小时的高产量 储存在移动和可更换的盒子里 检测双层和破损的晶圆,并将其移入盒子中 检测有缺陷的6英寸晶圆并将其单独移入盒子中,提供了将晶圆转换为5英寸晶圆的可能性。 在最后的轨道上进行额外的破损检测和移除,以防止在接下来的过程中出现堆积。 为钻石线切割晶圆做准备 易于维护,因为有良好的可及性

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