取放式机器人

蜘蛛5轴用于晶圆操作

机器人将晶圆（或电池）从进料带转移到出料带的1至5个不同数量的轨道上，反之亦然。 此外，晶圆可以被分拣到盘子里，也可以从盘子里拿出来。单独的传送带将晶圆送入和送出机器，因此不需要为不同尺寸的晶圆进行转换，并保证了温和的传送。 一个集成的摄像系统可以检测晶圆的位置、缺陷和重叠的晶圆。错位的晶圆将被放置到正确的位置，损坏和重叠的晶圆将被移除。 一个特殊的Bernoulli-gripper已经被开发出来，以实现温和和无接触的抓取。 4,000片/小时的高产量 储存在移动和可更换的盒子里 检测双层和破损的晶圆，并将其移入盒子中 检测有缺陷的6英寸晶圆并将其单独移入盒子中，提供了将晶圆转换为5英寸晶圆的可能性。 在最后的轨道上进行额外的破损检测和移除，以防止在接下来的过程中出现堆积。 为钻石线切割晶圆做准备 易于维护，因为有良好的可及性