用于微机械加工的光束整形系统
SCANLAB与Pulsar Photonics公司合作,共同开发和销售用于微加工的更高集成的扫描解决方案。USP(超短脉冲激光)应用的市场持续增长,主要的挑战往往是基于希望提高生产率。这种需求可以通过激光工艺的并行化来满足,例如在众多应用中使用多光束系统。
显微扫描扩展(MSE)
Microscan Extension可以被称为 "1-µm激光刀"。这种扫描目标将扫描系统扩展到微点扫描头。
扫描器和MSE的组合允许高精度的微加工。焦点直径小于4μm,在紫外波长范围内甚至小于1.5μm。
多光束扫描仪(MBS)
MultiBeamScanner可以实现平行激光切割、钻孔和烧蚀过程。通过使用衍射光学元件(DOE),入射的激光束被分割成不同配置的部分光束,从而使几个激光点可以在一个图像区域内同时工作。通过这种方式,可以同时处理几个部件或更快地创建复杂的结构。通过与XL SCAN相结合,可以进一步提高并行处理的速度和精度。
灵活光束整形器(FBS)
FlexibleBeamShaper是一个机器可控制的光束整形系统,可以产生用户定义的光束分布。电子可控的光相位调制器将FBS变成一个 "光子工具箱",配备各种预定的光束形状。
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