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扩散炉
DOA-40 series
自动
卧式
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产品规格型号
功能
扩散
其他特性
自动, 卧式
产品介绍
低压磷扩散掺杂。 • 高方阻技术解决方案。 • 独特双嵌套炉门结构,有效解决炉口偏磷酸问题。 • 独特温区设置,有效解决炉口炉尾方阻均匀性。 • 高速平稳整体模组推舟机构 • 智能化全自动控制 • 自主知识产权MES软件。 • 匹配S.C智能化生产管理系统。
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