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晶圆用变形机
SC-CSZ12000F-16G
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产品规格型号
应用
晶圆用
产品介绍
主要对单晶硅太阳能电池用硅片进行绒面腐蚀和清洗处理。 去损伤→预清洗→单晶制绒→后清洗或O3清洗→酸洗→预脱水→烘干(供参考) • 产能:600片/批, 12000片/小时——210硅片(100片花篮);720片/批,15000片/小时——182硅片(120片花篮)。 • 工艺槽循环量可调。 • 制绒金字塔均匀,刻蚀深度可调。 • 支持最薄120μm硅片。 • 洁净干燥区域,自洁净干燥系统。 • 低H2O2消耗。 • 快速换液,在线换液。 • 支持MES、RFID及选配在线称重功能。
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