干式清洗设备 SC-CSZJ9600E-20F

水晶圆工艺流程

用于扩散后的硅片去绕镀、清洗处理。 去绕镀→后清洗→酸洗→后清洗→酸洗→预脱水→烘干 （供参考） • 产能：400片/批，9600片/小时（210硅片）,480片/批，12000片/小时（182硅片）。 • 支持多种添加剂技术。 • 支持最薄120μm硅片。 • 洁净区域干燥，自洁净系统。 • 快速换液，在线换液。 • 支持MES、RFID及选配在线称重功能。