PECVD镀膜机 PD-52 series

太阳能

主要用于晶体硅太阳能电池制造中电池片的减反射膜生长，也可用于在电池片的背面沉积钝化膜。 石墨舟及硅片准备→管内充氮气→进舟→抽真空、压力测试→氨气预清理和检查→管路抽真空、测漏、恒温→预镀膜→镀膜→抽真空、压力测试→清管路、充氮气→退舟 1、兼容氮氧化硅PERC技术。 2、双水冷密封技术。 3、专利内加热技术。 4、高速平稳整体模组推舟机构。 5、悬浮承载舟技术。 6、自主知识产权MES软件。 7、自主开发中央计算机集中控制系统。 8、快速镀膜技术。 9、全面的防超温、断偶、撞舟等安全报警保护功能。