自动搬运系统 SMZ-IV

模块化在线晶圆

本设备为在线式，可与一台或两台侧出舟设备对接，实现石墨舟的自动传输和硅片自动装卸，满足在太阳能电池片生产过程中的PECVD工艺前后，将片篮中的硅片自动装载到石墨舟，并将石墨舟输送到PECVD设备中，或将PECVD设备中的石墨舟输送到本设备，并将石墨舟中的硅片自动装载到片篮中。 设备模块化设计，可以在线连接⼀台或两台PECVD。 采用PC机控制，平板电脑菜单操作，简单明了。 具有在线隐裂⽚检测、在线膜厚检测、在线色差检测、在线CCD翘片检测及NG片自动处理功能（选配功能，价格另计）。 在线/离线配置。 匹配AGV,RFID,可选配MES功能。