380-PO光学镀膜系统提供了宝贵的工艺灵活性,可以在精密光学器件上沉积广泛的薄膜涂层类型。它提供一致的、复杂的薄膜堆,具有直观和简单的工艺设置,以及快速的生产周期吞吐量。
中小型光学器件生产的顶级设备
380-PO完美地证明了伟大的技术设备可以很容易地与低拥有成本结合起来。该箱式镀膜机可以配备圆顶、翻转或其他基片支架选项,提供了极大的工艺灵活性。快速的循环时间使得380-PO成为所有中、小型光学产品生产需求的完美选择。可选的干式泵送使其也适用于UV/DUV镀膜。
灵活性和效率
使用迈斯纳捕集器的水蒸气泵快速循环。
高温和低温基片加热选项。
单EBG和热阻源。
可选的高功率离子枪用于低应力和无偏移的涂层。
根据要求提供3区穹顶、全穹顶或翻转系统选项。
用户友好的HMI控制软件。
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