落地式气体净化器 PS5 Series

过滤式氩

PS5 MegaTorr稀有气体净化器是被加热的基于吸瓦斯剂的净化器明确地被设计为半导体应用提供超离频的纯净(UHP)氦气或氩气体。给予专利的吸瓦斯剂合金经营在高温通过形成不可逆的化学键去除杂质。当净化器在规格内，被管理被去除的杂质在任何情况下不会被发布。出口O2、H2O、CO、二氧化碳、H2、CH4 (THC或总碳氢化合物)和N2的不纯度减少到每十亿集中的部分。这些净化器被设计持续多岁月，但是终身取决于入口杂质浓度和平均流速。请与终身演算的工厂联系。一旦专栏被消耗它可以用一个新的专栏替换，新的终身的。顺流激昂的吸瓦斯剂专栏，一个给予专利的次要周围温度吸瓦斯剂弹药筒去除氢杂质，叫作氢撤除单位(HRU)。