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过滤式气体净化器 PS3-MT3 Series氮
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产品规格型号
- 类型
- 过滤式
- 其他特性
- 氮
- 空气流量
最少: 0 l/min
(0 us gal/min)最多: 5 l/min
(1.3 us gal/min)
产品介绍
研究表示，气体洗净保证半导体装置制造的一致和反复性的处理表现。问题的用途洗净隔绝从房子气体分布式系统的重要过程区并且防止受到气体纯净翻倒和交互污染。
MonoTorr净化器为氮气和稀有气体提供根本洗净在流速5 slpm。
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