落地式气体净化器 PS8 Series

过滤式氮

Na PS8 MegAtorr 净化器经过增强的优化设计，在小占地面积中提供亚级性能。 SAES Pure Gas 在超高纯度 (UHP) 管道设计、先进的工艺材料分析和先进的集成控制系统方面积累了多年的经验，开发了这种净化器系列，以满足低资本成本、高可靠性和高性能的需求。 PS8 系列采用双吸附工艺，专为半导体应用提供超高纯度气体而设计。 CO、CO2、H2、H2O 和 O2 的出口杂质水平降低到每亿分之一 (ppba) 水平以下。