晶圆用变形机 SC-CSZ12000F-16G

主要对单晶硅太阳能电池用硅片进行绒面腐蚀和清洗处理。 去损伤→预清洗→单晶制绒→后清洗或O3清洗→酸洗→预脱水→烘干（供参考） • 产能：600片/批， 12000片/小时——210硅片（100片花篮）；720片/批，15000片/小时——182硅片（120片花篮）。 • 工艺槽循环量可调。 • 制绒金字塔均匀，刻蚀深度可调。 • 支持最薄120μm硅片。 • 洁净干燥区域，自洁净干燥系统。 • 低H2O2消耗。 • 快速换液，在线换液。 • 支持MES、RFID及选配在线称重功能。