对高效太阳能电池异质结电池片进行制绒、清洗。
预清洗→纯水清洗→去损伤→纯水清洗→制绒→纯水清洗→纯水清洗→PSC1→纯水清洗→化学抛光(O3)→纯水清洗→SC2处理→纯水清洗→氢氟酸洗→纯水清洗→预脱水→烘干
• 兼容MES、UPS和RFID功能。
• 机械手分配合理,有效避免药液交叉污染和槽体反应超时。
• 结构布局紧凑合理,酸性区域、碱性区域、高洁净区域采用隔断区分,设备占地空间小。
• 先进的400片双层槽结构,有效提高设备工艺产能。
• 工艺槽体采用“定排定补”模式和“时间补液”模式相结合,有效延长药液使用寿命和减少换液周期。
• 补配液采用槽内与补液罐双磁致伸缩流量计线性检测,以及可调节气阀控流结构,有效保证初配时间和微量精补配液的精度。
• 所有与液体接触材料优化升级,避免材料使用杂质析出。
• 采用最新全塑低温烘干技术,保证槽内洁净度和温度控制精度,提高制绒后少子寿命。