自动搬运系统 SYZ-VI-B

连续卧式立式

集装片和卸片一体，可从石英舟中把扩散后的硅片卸到片篮中，也可从片篮中将制绒后的硅片装入石英舟中。可在⼀个石英舟插槽中插⼊两片，实现单面扩散片工艺，也可在⼀个石英舟插槽中插入一片，实现双面扩散片工艺。采用装片与卸片可连续衔接⽅式，实现连续生产；也可单独装片或单独卸片。 • 采用进口六轴机械手装卸片，确保硅片取放高可靠性。 • HMI采用（IPC）工业计算机运行上位软件，通过网络通讯实现高速数据交互。 • 采用精密检测元器件检测石英舟动态位置实现纠偏定位。 • 卸片前设有冷却系统，可防止因高温带来对硅片和设备的不良影响。 • 顶齿、吸盘重要零部件采用特殊加工工艺，极大降低顶齿印、吸盘印。 • 装卸花篮可做立式或卧式，客户可根据需求灵活选择。 • 可选配MES功能；可选配方阻检测模组；可选配AGV。