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干式清洗机 Maximus806
自动工艺流程

干式清洗机
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产品规格型号

技术
干式
运行模式
自动
应用
工艺流程

产品介绍

用于加工站的全自动微型集群系统,例如 剥离 旋转涂布机 显影 脱模 热板、冷板和底板 紫外线烘烤 最大晶片尺寸:直径 6" ~ Ø 8" (直径 150 ~ Ø 200 毫米 最大基片尺寸:6 英寸 x 6 英寸(150 毫米 x 150 毫米 模块化设计,最多可容纳 6 个工艺站

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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。