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干式清洗机
Maximus806
自动
工艺流程
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产品规格型号
技术
干式
运行模式
自动
应用
工艺流程
产品介绍
用于加工站的全自动微型集群系统,例如 剥离 旋转涂布机 显影 脱模 热板、冷板和底板 紫外线烘烤 最大晶片尺寸:直径 6" ~ Ø 8" (直径 150 ~ Ø 200 毫米 最大基片尺寸:6 英寸 x 6 英寸(150 毫米 x 150 毫米 模块化设计,最多可容纳 6 个工艺站
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