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- RoboTechnik Intelligent Technology Co., Ltd.
生产自动化系统 RTA-PECVD-6000-16000流程
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产品规格型号
- 技术参数
- 流程, 生产
产品介绍
吞吐量：6000-16000
破损率：≤0.04%@166；0.04%@182；0.04%@210
正常运行时间：≥99
特性
可选择装卸分离或一体化布局
分段式整体焊接钢架，结构稳定可靠
可选自动除渣功能
支持 MES 接口和远程调试功能
智能 IGV 接口
智能设备、OEE 统计和能耗分析
兼容 M10、M12 和 220-230 毫米晶圆，全尺寸和半尺寸晶圆
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