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- RoboTechnik Intelligent Technology Co., Ltd.
生产自动化系统 RTA-PE-4000-9000流程
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产品规格型号
- 技术参数
- 流程, 生产
产品介绍
吞吐量： 4000-9000
破损率 0.04%@182; 0.05%@210
正常运行时间：≥99
特点
可选配史陶比尔或发那科机械手插件
分段式整体焊接钢架，结构稳定可靠
可选可视翘曲检测和石墨舟定位
支持 MES 接口和远程调试功能
智能 IGV 接口
在线 AOI 和 PL 检测
智能设备、OEE 统计和能耗分析
兼容 M10、M12 和 220-230 毫米的全尺寸和半尺寸晶圆
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