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- RoboTechnik Intelligent Technology Co., Ltd.
生产自动化系统 ARK20流程
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产品规格型号
- 技术参数
- 流程, 生产
产品介绍
吞吐量： 20000-30000
破损率 0.01%@182; 0.02%@210
正常运行时间： ≥99
特点
可选吊船转运方案或 IGV 船转运方案
直线电机龙门框架设计，高速、稳定、可靠
可选配视觉花架缺件检测、石英艇碎片检测、石英艇定位
分段式整体焊接钢架，结构稳定可靠
支持 MES 接口和远程调试功能
智能 IGV 接口
智能设备、OEE 统计和能耗分析
兼容 M10、M12 和 220-230mm 晶圆，全尺寸和半尺寸晶圆
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